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 Preparation and Application of Sol-Gel Polishing Pad for Polishing CVD Single Crystal Diamond at High Speed 高速抛光CVD单晶金刚石溶胶-凝胶抛光垫的制备及应用
相关领域
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期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者：Jing Lu; Ao Deng; Ping Xiao 出版日期：2022-01-01 |
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