Resistive heater element made of highly durable TaC-coated graphite for high-temperature and highly corrosive processes: application to MOCVD GaN epitaxial growth

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标题	Resistive heater element made of highly durable TaC-coated graphite for high-temperature and highly corrosive processes: application to MOCVD GaN epitaxial growth 用于高温和高腐蚀性工艺的高耐用TaC涂层石墨电阻加热器元件：在MOCVD GaN外延生长中的应用相关领域金属有机气相外延材料科学电阻式触摸屏石墨外延电阻率和电导率光电子学加热元件同质性（统计学）结晶度复合材料电气工程工程类图层（电子）数学统计
网址	https://doi.org/10.7567/1347-4065/ab2935
DOI	10.7567/1347-4065/ab2935 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Daisuke Nakamura; Tetsuo Narita; Taishi Kimura 出版日期：2019-07-03
求助人	哈哈哈在 2024-08-29 13:00:18 发布自浙江，悬赏 10 积分
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