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The determination of phases formed in AlSiCu/TiN/Ti contact metallization structure of integrated circuits by x-ray diffraction
用x射线衍射法测定集成电路AlSiCu/TiN/Ti接触金属化组织中形成的相
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期刊:Journal of applied physics 作者:Vincent Fortin; G. Gagnon; Mario Caron; S. C. Gujrathi; J. F. Currie; et al 出版日期:1998-01-01 |
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