| 标题 |
 Extending atomic layer deposition for use in next-generation piezoMEMS: Review and perspective 扩展原子层沉积用于下一代压电材料：回顾与展望
相关领域
原子层沉积
锆钛酸铅
材料科学
微电子机械系统
压电
纳米技术
执行机构
制作
杠杆（统计）
氮化物
光电子学
工程物理
薄膜
图层（电子）
机械工程
计算机科学
工程类
电气工程
铁电性
复合材料
机器学习
电介质
病理
医学
替代医学
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Nicholas A. Strnad; Daniel M. Potrepka; Brendan Hanrahan; Glen R. Fox; Ronald G. Polcawich; et al 出版日期：2023-07-11 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
不配.
个性的紫菜
Cloud
薰硝壤
爱静静
都是
寻道图强
ShowMaker
iNk
乐乐乐乐乐乐
kento
Yziii
浅尝离白
pcr163
Singularity
shinysparrow
坚强亦丝
HEIKU
小墨
好困
皖公网安备34019202002308
