Super-resolution spectral interference fitting method for the simultaneous measurement of the thin film thickness and surface profile

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标题	Super-resolution spectral interference fitting method for the simultaneous measurement of the thin film thickness and surface profile 薄膜厚度和表面轮廓同时测量的超分辨光谱干涉拟合法相关领域触针轮廓仪干涉测量光学干扰（通信）材料科学分辨率（逻辑）椭圆偏振法光谱分辨率薄膜反射率度量（数据仓库）表面光洁度谱线计算机科学物理声学人工智能纳米技术复合材料频道（广播）计算机网络天文数据库
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6501/ad3a03
DOI	10.1088/1361-6501/ad3a03 doi
其它	期刊：Measurement Science and Technology 作者：Bozhang Dong; Wenping Guo; Kecheng Yang; H. Shen; Tanbin Shao; et al 出版日期：2024-04-10
求助人	灵巧的含海在 2024-06-19 16:33:38 发布自陕西，悬赏 10 积分
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