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 Improvement of Aluminum Diffusion in HKMG Process HKMG工艺中铝扩散的改进
相关领域
铝
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期刊：2022 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC) 作者：Xiaoyang Xi; Zhaoqin Zeng; Yu Bao; Haifeng Zhou; Jingxun Fang; et al 出版日期：2022-06-20 |
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