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Enhanced contact resistance reduction in MoS2 transistors via ultrathin LiPON electrode interface doping
超薄LiPON电极界面掺杂增强MoS2晶体管接触电阻降低
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者:Ting Pan; Yonghuang Wu; Run Shi; Haowen Liu; R. H. Tong; et al 出版日期:2024-07-01 |
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