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 Design, modelling and system level simulations of DRIE-based MEMS differential capacitive accelerometer 基于DRIE的MEMS差分电容加速度计的设计、建模和系统级仿真
相关领域
加速度计
深反应离子刻蚀
电容感应
微电子机械系统
灵敏度（控制系统）
绝缘体上的硅
材料科学
电子工程
电气工程
工程类
计算机科学
光电子学
硅
蚀刻（微加工）
纳米技术
反应离子刻蚀
操作系统
图层（电子）
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