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Design, modelling and system level simulations of DRIE-based MEMS differential capacitive accelerometer

加速度计 深反应离子刻蚀 电容感应 微电子机械系统 灵敏度（控制系统） 绝缘体上的硅 材料科学 电子工程 电气工程 工程类 计算机科学 光电子学 硅 蚀刻（微加工） 纳米技术 反应离子刻蚀 操作系统 图层（电子）
作者
Ravindra Mukhiya,P. Agarwal,S. Badjatya,Manu Garg,P. K. Gaikwad,Soumendu Sinha,Ajay Singh,Ram Gopal
出处
期刊：Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems [Springer Nature]
日期：2019-01-10 卷期号：25 (9): 3521-3532 被引量：34
标识
DOI：10.1007/s00542-018-04292-0
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