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Low temperature growth of high-k Hf–La oxides by remote-plasma atomic layer deposition: Morphology, stoichiometry, and dielectric properties
远程等离子体原子层沉积低温生长高K Hf-La氧化物:形貌、化学计量和介电性能
相关领域
X射线光电子能谱
氧化物
材料科学
分析化学(期刊)
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