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 Deposition Mechanism and Properties of Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposited Gallium Nitride Films with Different Substrate Temperatures 不同衬底温度等离子体增强原子层沉积氮化镓薄膜的沉积机理及性能
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期刊：Molecules 作者：Fang-Bin Ren; Shi-Cong Jiang; Chia‐Hsun Hsu; Xiaoying Zhang; Peng Gao; et al 出版日期：2022-11-22 |
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