亲爱的研友该休息了!由于当前在线用户较少,发布求助请尽量完整地填写文献信息,科研通机器人24小时在线,伴您度过漫漫科研夜!身体可是革命的本钱,早点休息,好梦!

Deposition Mechanism and Properties of Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposited Gallium Nitride Films with Different Substrate Temperatures

三甲基镓 材料科学 基质(水族馆) 原子层沉积 X射线光电子能谱 无定形固体 氮化镓 图层(电子) 化学工程 沉积(地质) 大气温度范围 分析化学(期刊) 化学气相沉积 热稳定性 纳米技术 金属有机气相外延 外延 结晶学 化学 冶金 气象学 古生物学 工程类 地质学 物理 海洋学 生物 色谱法 沉积物
作者
Fang-Bin Ren,Shi-Cong Jiang,Chia‐Hsun Hsu,Xiaoying Zhang,Peng Gao,Wan-Yu Wu,Yi-Jui Chiu,Shui‐Yang Lien,Wen‐Zhang Zhu
出处
期刊:Molecules [Multidisciplinary Digital Publishing Institute]
卷期号:27 (23): 8123-8123 被引量:3
标识
DOI:10.3390/molecules27238123
摘要

Gallium nitride (GaN) is a wide bandgap semiconductor with remarkable chemical and thermal stability, making it a competitive candidate for a variety of optoelectronic applications. In this study, GaN films are grown using a plasma-enhanced atomic layer deposition (PEALD) with trimethylgallium (TMG) and NH3 plasma. The effect of substrate temperature on growth mechanism and properties of the PEALD GaN films is systematically studied. The experimental results show that the self-limiting surface chemical reactions occur in the substrate temperature range of 250-350 °C. The substrate temperature strongly affects the crystalline structure, which is nearly amorphous at below 250 °C, with (100) as the major phase at below 400 °C, and (002) dominated at higher temperatures. The X-ray photoelectron spectroscopy spectra reveals the unintentional oxygen incorporation into the films in the forms of Ga2O3 and Ga-OH. The amount of Ga-O component decreases, whereas the Ga-Ga component rapidly increases at 400 and 450 °C, due to the decomposition of TMG. The substrate temperature of 350 °C with the highest amount of Ga-N bonds is, therefore, considered the optimum substrate temperature. This study is helpful for improving the quality of PEALD GaN films.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
4秒前
6秒前
sunshinelwt发布了新的文献求助10
10秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
12秒前
14秒前
去晒月亮完成签到,获得积分20
16秒前
17秒前
伯赏元彤发布了新的文献求助10
18秒前
去晒月亮发布了新的文献求助10
21秒前
33秒前
Jimmy发布了新的文献求助10
37秒前
49秒前
共享精神应助伯赏元彤采纳,获得10
58秒前
领导范儿应助科研通管家采纳,获得10
59秒前
59秒前
Jimmy完成签到,获得积分10
1分钟前
Billy举报千里求助涉嫌违规
1分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
1分钟前
sunshinelwt完成签到,获得积分10
1分钟前
binyao2024完成签到,获得积分10
2分钟前
2分钟前
胡可完成签到 ,获得积分10
2分钟前
量子星尘发布了新的文献求助30
3分钟前
3分钟前
3分钟前
健康的大船完成签到 ,获得积分10
3分钟前
哈基米发布了新的文献求助10
3分钟前
3分钟前
哈基米完成签到,获得积分10
3分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
4分钟前
4分钟前
4分钟前
小西完成签到 ,获得积分10
4分钟前
4分钟前
完美世界应助PAIDAXXXX采纳,获得10
4分钟前
情怀应助科研通管家采纳,获得10
4分钟前
醉熏的飞薇完成签到,获得积分10
5分钟前
5分钟前
雾见春完成签到 ,获得积分10
5分钟前
5分钟前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
Picture Books with Same-sex Parented Families: Unintentional Censorship 700
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
Nucleophilic substitution in azasydnone-modified dinitroanisoles 500
不知道标题是什么 500
Indomethacinのヒトにおける経皮吸収 400
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 370
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3976665
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3520770
关于积分的说明 11204786
捐赠科研通 3257528
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1798733
邀请新用户注册赠送积分活动 877897
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 806629