Novel planarization method of single-crystal diamond using 172 nm vacuum-ultraviolet light

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标题	Novel planarization method of single-crystal diamond using 172 nm vacuum-ultraviolet light 利用172nm真空紫外光平坦化单晶金刚石的新方法相关领域化学机械平面化钻石抛光材料科学 X射线光电子能谱辐照表面粗糙度蓝宝石分析化学（期刊）光学复合材料化学化学工程激光器核物理学工程类物理色谱法
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S014163591...
DOI	10.1016/j.precisioneng.2018.06.003 doi
其它	期刊：Precision Engineering 作者：Akihisa Kubota; Takahiro Takita 出版日期：2018-06-19
求助人	翻斗花园爆破手牛爷爷在 2025-02-14 20:24:49 发布自吉林，悬赏 10 积分
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