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 Design and cooperation control analysis of a coarse-fine dual stage drive positioning system 一种粗细双级驱动定位系统的设计与协同控制分析
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期刊：International Journal of Nanomanufacturing 作者：Xiaolong Bai; Fei Fang; Yong Lei; Bing Ju 出版日期：2011-01-01 |
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