| 标题 |
 Effect of low frequency voltage waveform on plasma uniformity in a dual-frequency capacitively coupled plasma 双频电容耦合等离子体中低频电压波形对等离子体均匀性的影响
相关领域
容性耦合等离子体
等离子体
电压
波形
原子物理学
电极
化学
材料科学
振幅
分析化学（期刊）
感应耦合等离子体
物理
光学
色谱法
量子力学
物理化学
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：Shahid Rauf; Peng Tian; Jason Kenney; L. Dorf 出版日期：2022-04-04 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
不配.
Henry
薰硝壤
浅尝离白
个性的紫菜
有人
Leonardi
iNk
Singularity
8R60d8
肯德鸭
寻道图强
itsserene
乐乐乐乐乐乐
萧水白
yufanhui
咖啡豆
pcr163
LY
tuanheqi
皖公网安备34019202002308
