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标题
Mechanistic insights into waterjet-guided laser grooving of silicon: Impact of ablation dynamics, oxide formation, and thermal stress
水射流引导硅激光开槽的机理研究：烧蚀动力学、氧化物形成和热应力的影响
相关领域
硅 材料科学 烧蚀 激光烧蚀 压力（语言学） 动力学（音乐） 热的 激光器 氧化物 纳米技术 化学物理 光电子学 化学 光学 冶金 热力学 航空航天工程 物理 工程类 哲学 语言学 声学
网址
https://doi.org/10.1063/5.0239756
DOI
10.1063/5.0239756 doi
其它 期刊：Journal of Applied Physics
作者：Xinlan Hu; Tielin Shi; Yuhong Long; Yuxing Huang; Guanghui Zhang
出版日期：2024-12-18
求助人
Lee 在 2024-12-26 21:29:25 发布自浙江，悬赏 10 积分
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