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 Gas-assisted focused electron beam and ion beam processing and fabrication 气体辅助聚焦电子束和离子束加工和制造
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena 作者：Ivo Utke; P. Hoffmann; J. Melngailis 出版日期：2008-07-01 |
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