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The Etching Mechanisms of Diamond, Graphite, and Amorphous Carbon by Hydrogen Plasma: A Reactive Molecular Dynamics Study
氢等离子体刻蚀金刚石、石墨和无定形碳机理的反应分子动力学研究
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期刊:Advanced Theory and Simulations 作者:Yanyan Zhang; Dongliang Zhang; Libin Zhang; Bo Yang; Zhiyin Gan 出版日期:2023-07-14 |
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