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 Al concentration-dependent electrical modulation of Al-doped ZnO thin film using atomic layer deposition 原子层沉积Al掺杂ZnO薄膜的Al浓度相关电调制
相关领域
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原子层沉积
兴奋剂
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期刊：Ceramics International 作者：Ji Woon Choi; Jin Joo Ryu; Wooseok Song; Gun Hwan Kim; Taek‐Mo Chung 出版日期：2024-09-01 |
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