Al concentration-dependent electrical modulation of Al-doped ZnO thin film using atomic layer deposition

材料科学 原子层沉积 兴奋剂 图层(电子) 调制(音乐) 薄膜 沉积(地质) 光电子学 逐层 纳米技术 古生物学 哲学 沉积物 生物 美学
作者
Ji Woon Choi,Jin Joo Ryu,Wooseok Song,Gun Hwan Kim,Taek‐Mo Chung
出处
期刊:Ceramics International [Elsevier]
标识
DOI:10.1016/j.ceramint.2024.09.132

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