The effect of the crystallization of indium tin oxide on indium tin oxide wet etching based on gate line with the structure of copper/indium tin oxide

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标题	The effect of the crystallization of indium tin oxide on indium tin oxide wet etching based on gate line with the structure of copper/indium tin oxide 基于铜/铟锡氧化物结构栅线的氧化铟锡结晶对氧化铟锡湿法刻蚀的影响相关领域材料科学氧化铟锡 X射线光电子能谱微晶结晶铟退火（玻璃）溅射无定形固体薄膜晶体管蚀刻（微加工）溅射沉积氧化物化学工程光电子学薄膜冶金纳米技术图层（电子）结晶学化学工程类
网址	https://doi.org/10.1002/jsid.1216
DOI	10.1002/jsid.1216 doi
其它	期刊：Journal of The Society for Information Display 作者：Juncheng Xiao; Guang Zeng; Ji Li; Shengdong Zhang 出版日期：2023-04-24
求助人	英俊谷秋在 2024-10-18 10:12:50 发布自江苏，悬赏 10 积分
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