Significant Reliability Improvement by Inducing Dual Atomic-Thin Titanium Intercalation Layers in Hf0.5Zr0.5O2 Films

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标题	Significant Reliability Improvement by Inducing Dual Atomic-Thin Titanium Intercalation Layers in Hf0.5Zr0.5O2 Films 在Hf0.5Zr 0.5 O2薄膜中诱导双原子薄钛插层显著提高可靠性相关领域插层（化学）符号域代数上的数学材料科学物理量子力学算术纯数学
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/55/10109212/10089387.pdf...
DOI	10.1109/led.2023.3263294 doi
其它	期刊：IEEE Electron Device Letters 作者：Lu Tai; Wei Wei; Pengpeng Sang; Xiaopeng Li; Guoqing Zhao; et al 出版日期：2023-03-31
求助人	陈陈在 2023-12-18 18:41:42 发布自湖北，悬赏 10 积分
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