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 Inhomogeneities in PECVD deposited a-Si:H films induced by a spacing between substrate and substrate holder 衬底与衬底支架间距对PECVD沉积a-Si：H薄膜不均匀性的影响
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期刊：Solar energy materials & solar cells/Solar energy materials and solar cells 作者：W.G.J.H.M. van Sark; H. Meiling; Jeff Bezemer; Mika Lindén; R.E.I. Schropp; et al 出版日期：1997-01-01 |
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