The sputtering performance of Ag sputtering targets with different microstructure

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标题	The sputtering performance of Ag sputtering targets with different microstructure 不同微结构银溅射靶材的溅射性能相关领域溅射退火（玻璃）微观结构溅射沉积材料科学电阻率和电导率复合材料冶金纳米技术薄膜电气工程工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2023.111888
DOI	10.1016/j.vacuum.2023.111888 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Zheda Ning; Yiqing Wang; Sixie Li; Ke Tang; Ming Wen 出版日期：2023-04-01
求助人	123 在 2024-08-12 13:06:03 发布自湖北，悬赏 10 积分
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