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 Effect of bias voltages and interlayer design on microstructure, mechanical properties, and adhesion performance of AlCrSiN coatings deposited using HiPIMS 偏压和夹层设计对HiPIMS沉积AlCrSiN涂层组织、力学性能和附着性能的影响
相关领域
高功率脉冲磁控溅射
材料科学
微观结构
偏压
残余应力
溅射沉积
复合材料
基质（水族馆）
涂层
电子探针
粒度
溅射
冶金
电压
薄膜
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工程类
海洋学
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期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Jian-Fu Tang; I-Hong Chen; Bo-Ruei Lu; Chi-Lung Chang 出版日期：2024-03-01 |
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