Effect of Deuterium Anneal on SiO2/Si(100) Interface Traps and Electron Spin Resonance Signals of Ultrathin SiO2 Films

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标题	Effect of Deuterium Anneal on SiO2/Si(100) Interface Traps and Electron Spin Resonance Signals of Ultrathin SiO2 Films 氘退火对超薄SiO2薄膜SiO2/Si（100）界面陷阱和电子自旋共振信号的影响相关领域电子顺磁共振退火（玻璃）氘硅离解（化学）材料科学分析化学（期刊）彭宁离子阱消灭电子动力学核磁共振原子物理学结晶学化学光电子学物理化学冶金物理量子力学色谱法
网址	http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.32.L569
DOI	10.1143/JJAP.32.L569 doi
求助人	Eve 在 2023-07-22 17:57:26 发布自河南，悬赏 10 积分
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