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 The effect of energy and momentum transfer during magnetron sputter deposition of yttrium oxide thin films 磁控溅射沉积氧化钇薄膜过程中能量和动量传递的影响
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期刊：Applied Surface Science 作者：Jinjiao Xia; Wenping Liang; Qiang Miao; Diederik Depla 出版日期：2018-05-01 |
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