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标题
Development and Applications of Aluminum Nitride Thin Film Technology
氮化铝薄膜技术的发展与应用
相关领域
材料科学 微电子 薄膜 氮化物 图层(电子) 纳米技术 溅射 纤锌矿晶体结构 沉积(地质) 光电子学 工程物理 冶金 工程类 古生物学 生物 沉积物
网址
DOI
10.5772/intechopen.106288 doi
其它 期刊:IntechOpen eBooks
作者:Cícero L. A. Cunha; Tales Cleber Pimenta; Mariana Amorim Fraga
出版日期:2023-03-29
求助人
WSY 在 2024-01-18 20:59:22 发布自江西,悬赏 10 积分
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