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 掺杂剂对重掺n型直拉硅片的氧化诱生层错生长的影响 相关领域
硅
材料科学
掺杂剂
薄脆饼
兴奋剂
堆积
锑
空位缺陷
成核
化学物理
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分子物理学
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光电子学
化学
冶金
有机化学
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