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标题
Effect of rotation of abrasives on material removal in chemical mechanical polishing using a proposed three-body model:Molecular dynamics simulation
基于三体模型的化学机械抛光中磨料旋转对材料去除的影响:分子动力学模拟
相关领域
分子动力学 抛光 材料科学 化学机械平面化 旋转(数学) 复合材料 动力学(音乐) 机械工程 化学 工程类 物理 计算化学 几何学 数学 声学
网址
DOI
10.1016/j.triboint.2024.109716 doi
其它 期刊:Tribology International
作者:Ruling Chen; Pengju Zhou; Hui Li
出版日期:2024-04-01
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黄雨果 在 2024-12-26 10:13:20 发布自广东,悬赏 10 积分
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