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Effect of ozone concentration on atomic layer deposited tin oxide
臭氧浓度对原子层沉积氧化锡的影响
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网址
https://doi.org/10.1116/1.5027550
DOI
10.1116/1.5027550 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：Hyun‐Woo Park; Joo Hyun Park; Sunmi Shin; Giyul Ham; Hyun-Woong Choi; et al
出版日期：2018-08-07
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llm 在 2024-12-20 02:52:58 发布自湖北，悬赏 10 积分
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