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 Improvement of dry etch-induced surface roughness of single crystalline β-Ga2O3 using post-wet chemical treatments 湿化学后处理改善单晶β-Ga2O3干法刻蚀表面粗糙度
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期刊：Applied Surface Science 作者：Hoon-Ki Lee; Hyung‐Joong Yun; Kyu-Hwan Shim; Hyun-Gwon Park; Taehoon Jang; et al 出版日期：2019-11-18 |
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