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Improvement of dry etch-induced surface roughness of single crystalline β-Ga2O3 using post-wet chemical treatments

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作者
Hoon-Ki Lee,Hyung‐Joong Yun,Kyu-Hwan Shim,Hyun-Gwon Park,Taehoon Jang,Sung‐Nam Lee,Chel‐Jong Choi
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2019-11-18 卷期号：506: 144673-144673 被引量：34
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2019.144673
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