Predicting and correcting for image placement errors during the fabrication of EUVL masks

求助中

文献求助详情

标题	Predicting and correcting for image placement errors during the fabrication of EUVL masks EUVL掩模制作过程中图像放置误差的预测和校正相关领域制作失真（音乐）平版印刷术极紫外光刻光学材料科学计算机科学像面梁（结构）图像（数学）光电子学人工智能物理替代医学放大器病理医学 CMOS芯片
网址	https://doi.org/10.1117/12.737181
DOI	10.1117/12.737181 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Roxann L. Engelstad; Jeongwon Sohn; Andrew R. Mikkelson; Madhura Nataraju; Kevin T. Turner 出版日期：2007-02-08
求助人	hhmm 在 2025-01-15 11:29:59 发布自美国，悬赏 20 积分
下载	暂无链接，等待应助者上传
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

求助 / 应助时间线

现在，等待您上传文献

对不起，您需要登录才可以上传文件。
进入登录页面
7小时前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

11:30:01 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

11:29:59 科研通AI机器人（日本东京）收到请求，开始寻找文献

11:29:59 已向机器人发送请求
7小时前

hhmm 求助人 Lv11 发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: zb183完成签到，获得积分20

1秒前; Jasper上传了应助文件

1秒前; 善学以致用上传了应助文件

2秒前; pattrick完成签到，获得积分10

2秒前; 孙玮发布了新的文献求助30

3秒前; NexusExplorer的应助被Tristan采纳，获得10

4秒前; 科研通AI2S的应助被tyhmugua采纳，获得10

4秒前; wangc发布了新的文献求助30

6秒前; 合适的灵枫发布了新的文献求助30

7秒前; 丘比特上传了应助文件

7秒前; 大个上传了应助文件

7秒前; 坚强的茗茗完成签到，获得积分10

7秒前; 安静人发布了新的文献求助10

7秒前; 李健上传了应助文件

8秒前; 蚂蚁完成签到，获得积分10

9秒前; nenoaowu发布了新的文献求助10

12秒前; 吃猫的鱼发布了新的文献求助10

12秒前; 蚂蚁发布了新的文献求助10

13秒前; syh给syh的求助进行了留言

13秒前; 甜甜玫瑰的应助被super chan采纳，获得10

15秒前; 若谷发布了新的文献求助10

16秒前; 安静人完成签到，获得积分10

17秒前; 小小aa16完成签到，获得积分10

17秒前; 田様上传了应助文件

18秒前; 大大怪完成签到，获得积分10

19秒前; XJ完成签到，获得积分10

19秒前; 清爽太阳发布了新的文献求助30

23秒前; yifanchen上传了应助文件

24秒前; orixero的应助被民科王聪采纳，获得10

24秒前; chaiyuying发布了新的文献求助20

25秒前; 小蘑菇上传了应助文件

26秒前; 强健的幻丝完成签到，获得积分20

26秒前; Lucas上传了应助文件

26秒前; 11111发布了新的文献求助10

27秒前; zilvdawang发布了新的文献求助10

27秒前; 摸鱼发布了新的文献求助10

29秒前; 肖智议发布了新的文献求助10

30秒前; w_sea上传了应助文件

31秒前; 月落杉松晚完成签到，获得积分10

40秒前; 落寞的玉兰发布了新的文献求助20

40秒前