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 Self-assembled Si/SiO2 superlattice in Si-rich oxide films 富硅氧化物薄膜中Si/SiO2超晶格的自组装
相关领域
超晶格
退火（玻璃）
材料科学
溅射
氧化物
硅
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薄膜
光电子学
冶金
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Chu-Yun Hsiao; Chuan‐Feng Shih; K. W. Su; Hui-Ju Chen; Sheng-Wen Fu 出版日期：2011-08-01 |
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