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![]() 通过原位自由基探针系统测定氢、氧和氮气体的复合系数
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者:Dren Qerimi; Gianluca A. Panici; Arihant Jain; Daniel Jacobson; D. N. Ruzic 出版日期:2021-03-01 |
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