A novel role for SiCN to suppress H<inf>2</inf>O outgas from TEOS oxide films in hybrid bonding

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标题	A novel role for SiCN to suppress H<inf>2</inf>O outgas from TEOS oxide films in hybrid bonding SiCN抑制TEOS氧化膜H2O在杂化键合中的新作用相关领域氧化物薄脆饼材料科学晶片键合放气化学工程纳米技术化学有机化学工程类冶金
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/7961614/7968934/07968945...
DOI	10.1109/iitc-amc.2017.7968945 doi
其它	期刊：2017 IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC) 作者：T. Ueda; M. Tetani; Y. Morinaga; M. Hamada; M. Takeuchi; et al 出版日期：2017-07-11
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