OPC model accuracy study using high volume contour based gauges and deep learning on memory device

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标题	OPC model accuracy study using high volume contour based gauges and deep learning on memory device 使用基于高体积轮廓的仪表和存储器设备上的深度学习的OPC模型精度研究相关领域过度拟合计算机科学深度学习人工神经网络正规化（语言学）体积热力学人工智能软件量子力学物理程序设计语言
网址	https://doi.org/10.1117/12.2515274
DOI	10.1117/12.2515274 doi
其它	期刊：作者：Young‐Seok Kim; SeIl Lee; Zhenyu Hou; Yiqiong Zhao; Meng Liu; et al 出版日期：2019-03-26
求助人	勤劳怜寒在 2024-11-26 16:09:13 发布自四川，悬赏 20 积分
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