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Phase shifter calibration in phase-shifting interferometry
移相干涉测量中移相器的标定
相关领域
移相模块
校准
干涉测量
重复性
光学
相(物质)
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期刊:Applied Optics 作者:Yeou-Yen Cheng; James C. Wyant 出版日期:1985-09-15 |
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