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标题
Ultralow dielectric cross-linked silica aerogel nanocomposite films for interconnect technology
用于互连技术的超低介电交联二氧化硅气凝胶纳米复合薄膜
相关领域
气凝胶 材料科学 电介质 复合材料 电容 化学机械平面化 多孔性 低介电常数 纳米复合材料 光电子学 抛光 电极 物理化学 化学
网址
DOI
10.1016/j.apmt.2022.101536 doi
其它 期刊:Applied Materials Today
作者:Haryeong Choi; Taehee Kim; Tae-ho Kim; Sunil Moon; SangHyuk Yoo; et al
出版日期:2022-06-02
求助人
派大星 在 2025-03-06 09:10:52 发布自中国,悬赏 10 积分
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