Effects of sputtering power on microstructure and mechanical properties of TiVCr films

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标题	Effects of sputtering power on microstructure and mechanical properties of TiVCr films 溅射功率对TiVCr薄膜组织和力学性能的影响相关领域溅射材料科学微观结构无定形固体溅射沉积薄脆饼复合材料 Crystal（编程语言）薄膜结晶学光电子学纳米技术化学计算机科学程序设计语言
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2015.11.015
DOI	10.1016/j.vacuum.2015.11.015 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Du‐Cheng Tsai; Zue‐Chin Chang; Bing-Hau Kuo; Yu-Shiuan Deng; Erh-Chiang Chen; et al 出版日期：2015-11-27
求助人	jh 在 2025-03-06 00:03:27 发布自黑龙江，悬赏 10 积分
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