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标题
Scaling the nanoimprint lithography process of inorganic-based materials for photonic metasurfaces
用于光子超表面的无机基材料纳米压印光刻工艺的缩放
相关领域
纳米压印光刻 平版印刷术 缩放比例 材料科学 光子学 纳米光刻 过程(计算) 光子晶体 光电子学 光刻 纳米技术 计算机科学 制作 医学 操作系统 病理 数学 替代医学 几何学
网址
DOI
10.1117/12.3052645 doi
其它 期刊:
作者:Marco Abbarchi; Elias Daher; Sorin Deleganu; Nicoletta Granchi; Francesca Intonti; et al
出版日期:2025-03-19
求助人
MADKAI 在 2025-04-24 11:04:58 发布自匈牙利,悬赏 20 积分
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