The effects of etch chemistry on the etch rates of ArF BARC products

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标题	The effects of etch chemistry on the etch rates of ArF BARC products 蚀刻化学对ArF BARC产物蚀刻速率的影响
网址	https://doi.org/10.1117/12.657128
DOI	10.1117/12.657128 doi
其它	期刊：SPIE Proceedings 作者：Hong Zhuang; Dave Abdallah; Zhong Xiang; Hengpeng Wu; Jianhui Shan; et al 出版日期：2006-05-17
求助人	爱咋咋滴在 2025-02-17 00:23:14 发布自上海，悬赏 20 积分
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