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标题
Impact of Potential Barriers at Grain Boundaries of Multi Crystalline Silicon Wafers on Inductively Coupled Resistivity Measurements
多晶硅晶片晶界势垒对电感耦合电阻率测量的影响
相关领域
共发射极 薄脆饼 薄板电阻 晶体硅 材料科学 蚀刻(微加工) 扩散 扩展阻力剖面 各向同性腐蚀 晶界 感应耦合等离子体 光电子学 电阻率和电导率 分析化学(期刊) 复合材料 电气工程 化学 图层(电子) 等离子体 色谱法 量子力学 工程类 物理 热力学 微观结构
网址
DOI
10.4229/26theupvsec2011-1cv.3.42 doi
其它 期刊:
作者:Stefan Rein; Martin Spitz
出版日期:2011-10-10
求助人
自由的胡萝卜 在 2024-10-29 10:34:25 发布自陕西,悬赏 10 积分
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    自由的胡萝卜 自由的胡萝卜 求助人 Lv3 发起了本次求助

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