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标题
Impact of Potential Barriers at Grain Boundaries of Multi Crystalline Silicon Wafers on Inductively Coupled Resistivity Measurements
多晶硅晶片晶界势垒对电感耦合电阻率测量的影响
相关领域
共发射极 薄脆饼 薄板电阻 晶体硅 材料科学 硅 蚀刻（微加工） 扩散 扩展阻力剖面 各向同性腐蚀 晶界 感应耦合等离子体 光电子学 电阻率和电导率 分析化学（期刊） 复合材料 电气工程 化学 图层（电子） 等离子体 色谱法 量子力学 工程类 物理 热力学 微观结构
网址
https://doi.org/10.4229/26theupvsec2011-1cv.3.42
DOI
10.4229/26theupvsec2011-1cv.3.42 doi
其它 期刊：
作者：Stefan Rein; Martin Spitz
出版日期：2011-10-10
求助人
自由的胡萝卜 在 2024-10-29 10:34:25 发布自陕西，悬赏 10 积分
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