Bonding of LiNbO3 and Si wafers at room temperature using Si nanolayers

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标题	Bonding of LiNbO3 and Si wafers at room temperature using Si nanolayers 使用Si纳米层在室温下键合LiNbO3和Si晶片相关领域薄脆饼材料科学微电子晶片键合溅射制作阳极连接光电子学直接结合硅表面能粘结强度键能纳米技术复合材料薄膜分子化学有机化学替代医学病理医学
网址	http://dx.doi.org/10.35848/1347-4065/abf2d3
DOI	10.35848/1347-4065/abf2d3 doi
求助人	mooser 在 2025-01-08 16:28:49 发布自湖北，悬赏 10 积分
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