Error Calibration Method Based on Perspective Mapping for Wafer Automatic Optical Inspection System

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标题	Error Calibration Method Based on Perspective Mapping for Wafer Automatic Optical Inspection System 基于透视映射的晶圆自动光学检测系统误差标定方法相关领域校准薄脆饼补偿（心理学）计算机科学定位系统透视图（图形）坐标系光学（聚焦）误差分析过程（计算）观测误差错误检测和纠正计算机视觉人工智能工程类算法数学光学节点（物理）心理学统计物理电气工程结构工程应用数学精神分析操作系统
网址	https://doi.org/10.1109/tim.2022.3150567
DOI	10.1109/tim.2022.3150567 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 作者：Chao Meng; Jinfei Shi; Fei Hao; Panyu Li 出版日期：2022-01-01
求助人	孝顺的猕猴桃在 2024-11-26 10:59:28 发布自广东，悬赏 10 积分
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