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 Data-Driven and Mechanism-Based Hybrid Model for Semiconductor Silicon Monocrystalline Quality Prediction in the Czochralski Process 直拉法半导体硅单晶质量预测的数据驱动和机理混合模型
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期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者：Jun-Chao Ren; Ding Liu; Yin Wan 出版日期：2022-08-29 |
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