Reaction of Si with HCl to Form Chlorosilanes

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标题	Reaction of Si with HCl to Form Chlorosilanes 硅与HCl反应生成氯硅烷相关领域氯硅烷反应速率化学气相沉积硅化学工程化学化学反应薄膜反应机理电化学速率方程化学动力学无机化学材料科学纳米技术催化作用动力学物理化学电极有机化学物理量子力学工程类
网址	https://doi.org/10.1149/1.1737386
DOI	10.1149/1.1737386 doi
其它	期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：Suguru Noda; Katsuaki Tanabe; Takashi Yahiro; Toshio Osawa; Hiroshi Komiyama 出版日期：2004-01-01
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