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 Etching mechanism of amorphous hydrogenated silicon nitride by hydrogen fluoride 氟化氢腐蚀非晶态氢化氮化硅的机理
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期刊：Applied Surface Science 作者：Khabib Khumaini; Yewon Kim; Romel Hidayat; Tanzia Chowdhury; Hye-Lee Kim; et al 出版日期：2024-01-20 |
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