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Adsorption selectivity of TiCl4 precursor on Pt surfaces for atomic layer deposition via density functional theory
用密度泛函理论研究TiCl4前驱体在Pt表面原子层沉积的吸附选择性
相关领域
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网址
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2022.154695
DOI
10.1016/j.apsusc.2022.154695 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Jihye Baek; Kyungju Nam; Jung-yeon Park; JinHyeok Cha
出版日期：2022-09-09
求助人
一只小西瓜 在 2025-02-28 09:33:38 发布自福建，悬赏 10 积分
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